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矿冶总院研发成功极大规模集成电路芯片用高纯氧化钇防护涂层技术

来自:北京矿冶研究总院     时间:2013-05-09

      日前,由北京矿冶研究总院北矿新材科技有限公司为主承担的由国家科技部组织的国际合作项目“极大规模集成电路刻蚀机用高纯氧化钇涂层联合研发”验收会在北京举行。该项目的成功实施,标志着极大规模集成电路芯片制造重大装备关键零部件国产化技术取得了重大突破,芯片刻蚀机用高纯氧化钇防护涂层技术研发获得成功。

  随着极大规模集成电路“高密度等离子体刻蚀机”国产化步伐的加快,对刻蚀机用关键零部件的国产化研制需求也越来越紧迫。针对这一国家战略性需求,北京矿冶研究总院北矿新材科技有限公司在分析研究等离子刻蚀产品工况要求的基础上,根据国际领先防护技术发展趋势,开展了刻蚀机内腔抗等离子冲蚀用防护涂层技术研究,突破了高纯氧化钇热喷涂粉末制备、高纯氧化钇涂层制备关键技术,并联合德国GTV热喷涂工程技术设备有限公司研制开发了国内首套适合高纯度、高均匀度、高致密度氧化钇陶瓷涂层喷涂专用三阳级高能等离子喷涂及配套系统。在国内首次获得高纯氧化钇热喷涂粉末制备技术、高纯氧化钇涂层制备工艺技术及相关产品。所研制的高纯氧化钇粉末纯度稳定达到99.9wt%以上,高纯氧化钇涂层纯度稳定达到99wt%以上,达到了国外同类产品的先进水平。涂层产品经国内知名刻蚀机生产企业北京北方微电子公司的考核验证,涂层的等离子刻蚀速率降低10~60%,可完全替代国外产品。

  采用此技术建成了国内首个针对高纯度涂层材料及涂层加工的生产线高洁净中试生产线,可满足刻蚀机内腔200套/年的加工需求,其设计思路可推广应用至整个热喷涂行业。

  通过本项目的合作研发,加强了国内企业与国际知名热喷涂企业GTV、Aachen大学的技术交流与合作,使我国进入了被美、日等垄断的高纯热喷涂材料及涂层制备技术领域,促进我国热喷涂产品走向高端生产型并服务于国际市场,带动热喷涂行业的高新技术发展,有力地推动了相关领域的技术进步。同时,本项目采用了我国研究单位组织、应用单位参加与非垄断国先进企业合作的运作模式,为突破制约我国先进装备制造的瓶颈技术,打破国外的技术垄断,提供了一条新的解决途径,创造了有益的合作模式,积累了宝贵的经验。

百人学术论坛

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“第十届中国企业文化

第十届中国企业文化百人学术论坛在天津成功举办
第十届中国企业文化百人学术论坛在天津成功举办

2017年4月26日至28日,由中国企业文化研究会主办、中国企业文化研究会学术部承办、中交第一航务工程局有限公司协办的“第十届中国企业文化百人学术论坛”在天津市举办。来自全国各地的260多位企业代表和专家学者参加了本次论坛。
本次论坛聚焦 “‘一带一路’建设中的企业跨文化管理和文化融合” 主题,深入研究企业在走出去过程中面临的文化差异与文化冲突,研讨中国企业跨文化管理的思路、方法、经验与案例,为我国企业更好地参与“一带一路”建设提供文化建设解决方案。
论坛指出,加快“一带一路”建设是一项造福世界各国人民的伟大事业,广大企业在“一带一路”建设中既担负着重要的历史使命,也面临着重要的全球合作机遇。要大力推动我国企业走出去,大力弘扬“和平合作、开放包容、互学互鉴、互利共赢”的丝绸之路精神,深刻认识世界不同文明的共性和差异,自觉加强跨文化管理研究与实践,在尊重差异、包容多样的基础上加强文化交流、融合与互鉴,实现与沿线国家与地区的互利共赢。
论坛认为,“一带一路”建设中,中国海外企业不仅是中国经济组织的代表,也是中国文化“走出去”的重要载体,要通过打造企业品牌不断提升中国企业形象和国家软实力。中国企业在近40年的改革开放中创造了许多新奇迹新经验,培育了中国特色的企业和企业文化,中国经验不仅是中国的,也是世界的,要大力传播中国企业文化,与沿线各国各地区分享中国企业理念、文化建设经验。要深刻总结企业在“‘一带一路’建设中跨文化管理和文化融合工作”的路径和方法,探索和建立跨文化管理、文化融合的途径,努力引领我国企业走出去以先进文化适应全球化发展格局,开拓新道路、打造新模式、再创新辉煌,为“一带一路”建设做出新贡献。
中国企业文化研究会常务副理事长、秘书长孟凡驰教授,中交一航局副总经理何俊峰在开幕式致辞。国务院发展研究中心对外经济研究部部长赵晋平应邀出席会议并讲话。中国社会科学院学部委员、中国区域经济学会会长金碚教授,上海外国语大学国际工商管理学院院长范徵教授,中国企业文化研究会学术部首席专家杜胜熙,中国企业改革与发展研究会副会长、《中国企业报》总编辑李锦等专家分别就“一带一路”建设中我国企业面临的机遇和挑战、跨文化管理与文化融合的方法与路径、驻外企业形象管理与文化传播等议题发表观点。
中交第一航务工程局有限公司党委副书记刘俊华,交通银行股份有限公司党委宣传部部长、企业文化部总经理帅师在开幕式上分享企业实践案例。中国企业文化研究会学术委员会副主任赵春福教授、中国科学院大学管理学院博导徐艳梅教授分别就跨文化管理典型经验报告做深度点评并做学术观点阐述。开幕式由中国企业文化研究会副秘书长、学术部主任王建主持。
   本届论坛还邀请了中国中车集团、中国工商银行、北京海纳川汽车部件股份有限公司、中国航空工业南京机电、中国建筑第六工程局有限公司、中车长春轨道客车、中石油渤海钻探、鞍钢集团等多家企业代表分别就“一带一路”建设中集团跨文化管理与文化融合的顶层设计、一带一路建设中驻外企业多元文化团队建设、一带一路建设中驻外企业人本文化建设等专项问题分别进行广泛深入的研讨和交流,为走出去的企业以及即将走出去的企业提供了切实可行的经验和借鉴。